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芯片平台

平台介绍


    矩阵光电目前具备两台2-4英寸的MOCVD外延设备,可以生长砷化镓、磷化铟等相关III-V族材料。公司配备有2-4英寸的工艺流片生产线和相关检测表征设备,主要设备均从国外进口。具备1um线宽级集成电路工艺生产能力(基本满足砷化镓霍尔元件、光电探测器等芯片工艺需求)。

    主要生产设备包括:MOCVD外延设备、热蒸发/电子束蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、涂胶机(2-6英寸)、光刻机(2-6英寸)、显影机、湿法清洗腐蚀设备(2-6英寸)、RIE反应离子刻蚀设备、RTA快速退火炉(2-6英寸)、恒温/程控烘箱、磨划片设备等;主要测量表征设备包括:高倍电子显微镜、四探针薄膜电阻率仪、椭偏仪、3D轮廓扫描测量仪、SEM电镜扫描、霍尔效应测试设备、PL光致发光光谱仪、XRD和全面的射频微波测试设备。